物理群星
天野浩 肖像

图:日本文部科学省(研究振兴局),2014 / Wikimedia Commons / CC BY 4.0

天野浩

Hiroshi Amano

1960–今 · 生于日本静冈县浜松 · 日本

凝聚态

加热器坏了,长不上高温——将错就错的那一炉,长出了三十年来第一块平整的氮化镓

诺贝尔物理学奖 2014 发明高效蓝色发光二极管,使明亮且节能的白色光源成为可能

「1985 年 2 月,硕士生涯快结束时,我还在做着孤独而毫无结果的实验。」

—— 2014 年诺贝尔奖官方传记,据英文原文译

1982 年天野浩进名古屋大学赤崎实验室时,氮化镓已经是个没什么人做的方向。他和同门自己动手搭起金属有机气相外延装置,然后开始长晶体。

三年,一无所获。

在蓝宝石上长氮化镓,两者的晶格常数差约 16%,长出来的膜表面坑洼、位错密布。他后来在诺贝尔奖传记里写:1985 年 2 月,硕士生涯快结束时,我还在做着孤独而毫无结果的实验。

加热器坏了

那个月他做了一次对比:同门师兄长的氮化铝,表面比自己的氮化镓好一些。那就先铺一层氮化铝再长氮化镓试试。

问题是长氮化铝需要很高的温度,而实验室那台装置的加热系统太旧,根本升不上去。

就在这时他想起泽木老师说过的一件事:在硅上长磷化硼时,晶格失配也很大,而低温沉积的那一层有特别的作用。于是他将错就错,在低温下沉积氮化铝,再升温长氮化镓。

出来的样品,表面是原子级平整的。

他没有立刻发表——先把表面形貌、晶体质量、电学与光学性质逐项测了一遍,确认每一项都远好于此前所有报道,才在将近一年后投稿。这就是后来所说的低温缓冲层技术:氮化镓从此成了可用的材料。

从锌到镁

下一关是 p 型。

1985 到 1988 年他一直用锌做受主,始终不成。在 NTT 实习期间他发现了一件怪事:掺锌的氮化镓被电子束照射后,蓝色发光会不可逆地增强——他把这叫做低能电子束辐照。可即便如此,掺锌的样品仍然不是 p 型。

1989 年他读到菲利普斯的《半导体中的键与能带》,注意到在磷化镓里镁比锌是更好的受主。他和一位硕士生改用镁掺杂:长出来的样品电阻很高,但经过电子束辐照后,显出了明确的 p 型导电。

世界第一个氮化镓 pn 结型紫外/蓝光二极管,随即做了出来。

两年后,日亚化学的中村修二发现根本不需要电子束——简单的热退火就能得到 p 型,而且更彻底、更适合生产线。天野浩在自述里把这件事原样写了进去。

一台旧机器

蓝光二极管的故事里,这一段最容易被讲成运气:加热器坏了,于是发现了缓冲层。

但仔细看时间线:三年的失败让他熟悉了每一个可能出错的环节,泽木那句关于磷化硼的闲谈被他记住了,出结果之后他又用近一年把所有性质核了一遍才发表。运气挑的是有准备的人。

代表方程

低温缓冲层

蓝宝石衬底+低温 AlN 缓冲层 (∼500 ∘C)⟶表面平整的 GaN 单晶 (∼1000 ∘C)\begin{aligned} &\text{蓝宝石衬底} + \text{低温 AlN 缓冲层}\ (\sim 500\,^\circ\mathrm{C}) \\ &\qquad \longrightarrow \text{表面平整的 GaN 单晶}\ (\sim 1000\,^\circ\mathrm{C}) \end{aligned}

直接在蓝宝石上长氮化镓,16% 的晶格失配会把晶体撕得坑洼不平。先在低温下铺一层无序的氮化铝薄膜,再升温长氮化镓:缓冲层在升温中重结晶成大量细小晶核,把失配的应力分摊掉,上面才长得出表面平整、位错大幅减少的单晶。这一步是氮化镓从「死路」变成可用材料的转折。

p 型的临门一脚

Mg-doped GaN  → 低能电子束辐照   p-GaN\mathrm{Mg}\text{-}\mathrm{doped\ GaN} \;\xrightarrow{\ \text{低能电子束辐照}\ }\; p\text{-}\mathrm{GaN}

有了好晶体还不够,发光需要 pn 结,而 p 型氮化镓二十年做不出来。他先试锌,三年无果;1989 年改用镁,再加上此前偶然发现的低能电子束辐照,材料终于显出明确的 p 型导电。世界第一个氮化镓 pn 结蓝光二极管随即诞生。后来中村修二证明真正起作用的是热——热退火更简单、更彻底。

伟大发现